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電子半導體凈化工程
  • 十級半導體凈化車間工程技術解決方案

十級半導體凈化車間工程技術解決方案

十級半導體潔凈車間-凈化工程技術解決方案,中建南方專注于空氣微污染控制與治理技術,是空氣凈化行業標準化系統解決方案供應商,經ISO9001體系認證。中建南方環境主要為用戶提供空氣凈化設備生產,凈化廠房設計,潔凈工程施工,凈化工程裝修,無塵車間方案,潔凈室維護,空氣過濾器銷售等設計方案與施工造價凈化領域權威服務。
  • 案例介紹

十級半導體潔凈車間-凈化工程技術解決方案

   半導體組件空間單位都是以微米計算,因此微塵顆粒沾附在制作半導體組件的晶圓上,便有可能影響到其上精密導線布局的樣式,造成短路或斷路的嚴重后果。所有半導體制程設備都必須安置在隔絕粉塵進入的密閉空間中,這就是半導體無塵車間的來由。

   在工程公司設計中,半導體黃光潔凈車間中相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內,允許誤差在±1%的狹窄的范圍內,例如光刻區──或者在遠紫外線處理(DUV)區甚最小──而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。因為相對濕度有一系列可能使潔凈室總體表現下降的因素,

十級半導體無塵車間工程

   潔凈車間細菌生長;工作人員感到室溫舒適的范圍;出現靜電荷;金屬腐蝕;水汽冷凝;光刻的退化;吸水性。細菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨蟲)在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時,可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶,而濕度低30%則會讓人感覺干燥,皮膚皸裂,呼吸道不適以及情感上的不快。

   高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時,靜電荷開始迅速消散,但是當相對濕度小于30%時,它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續存在很長一段時間。相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中,半導體潔凈 室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。很多化學反應的速度,包括腐蝕過程,將隨著相對濕度的增高而加快。所有暴露在潔凈室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上一層單分子層的水。當這些表面是由可以與水反應的薄金屬涂層組成時,高濕度可以使反應加速。

   一些金屬例如鋁,可以與水形成一層保護型的氧化物,并阻止進一步的氧化反應;但另一種情況是,例如氧化銅,是不具有保護能力的。因此,在高濕度的環境中,銅制表面更容易受到腐蝕。此外,在高的相對濕度環境下,由于水分的吸收,使烘烤循環后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可以受到較高的相對濕度的負面影響;較低的相對濕度(約30%)使光刻膠附著更加容易,甚至需要聚合改性劑。在半導體潔凈室中控制相對濕度不是隨意的。但是,隨著時間的變化,最好回顧一下常見的被普遍接受的實踐的原因和基礎。

   半導體潔凈無塵車間的相關的技術和使用管理辦法:1.半導體潔凈無塵車間內部要確保粉塵只出不進,因此潔凈無塵車間室內要保持大于大氣壓的環境。這就需要用大型鼓風機將經凈化設備的空氣源源不絕地打入潔凈車間中。2.為保持恒溫與恒濕,大型空調設備須搭配前述之鼓風加壓系統使用。鼓風機加壓多久,空調就得開多久。3.所有經凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主。因此,潔凈無塵車間室內空間設計或機臺擺放應避免突兀,使塵埃細菌等在潔凈無塵車間內回旋停滯的機會與時間減至最低程度。4.所有建材均以不易產生靜電吸附的材質為主。5.所有人或事物進出潔凈無塵車間,人必須穿配套防塵服,人或事物都要經過風淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。6.半導體潔凈無塵車間內水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓,二則防止水中重金屬離子(如鉀、鈉離子)污染金氧半晶體管結構之帶電載子信道,影響半導體組件的工作特性。去離子水是良好的溶劑與清潔劑,在半導體工業之使用量極為驚人! 7.半導體潔凈無塵車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣 (98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。

   半導體凈化車間空氣過濾器過濾效率: 過濾0.1微米的粒子產品特點: 半導體潔凈無塵車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣 (98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。應用場所: 制藥工業、醫院(手術室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。細菌學、生物學、潔凈實驗室、生物工程(重組基因、疫苗制備)等行業??偨Y:濕度對于我們人體舒適性來說,可能不會特別明顯,可是對于生產工藝往往會有很大的影響,特別是對濕度要求很高的地方,而濕度往往也是最不好控制的,這也是為什么潔凈室的溫濕度控制上,都講究濕度優先。

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